近日，東尼電子在接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時表示，碳化硅長晶爐由公司設(shè)計，合作設(shè)備廠商定制。目前，公司已有50余臺長晶爐已完成安裝調(diào)試，另有約100臺長晶爐正在陸續(xù)安裝調(diào)試。上述長晶爐及配套切磨拋設(shè)備全部安裝完成，將形成約6萬片/年的產(chǎn)能。

有關(guān)化硅項目，東尼電子表示，公司年產(chǎn)12萬片碳化硅半導(dǎo)體材料項目實施地點為湖州市吳興區(qū)織里鎮(zhèn)利濟(jì)東路588號，建設(shè)期36個月，總投資4.69億元，購買約250臺長晶爐及配套切磨拋設(shè)備。項目完全達(dá)產(chǎn)當(dāng)年可實現(xiàn)年營業(yè)收入77,760萬元，凈利潤9,589.63萬元。

據(jù)悉，公司碳化硅項目從2017開始儲備研發(fā)，技術(shù)主要來源于美國、日本，研發(fā)團(tuán)隊來自臺灣，最初主要由兩位臺灣的博士牽頭，曾任職于臺灣中央研究院物理研究所，長期致力于材料科學(xué)與晶體技術(shù)研究，擅長晶體材料生長與精密切磨拋加工，具有二十余年的產(chǎn)品研發(fā)和量產(chǎn)導(dǎo)入經(jīng)驗。曾赴日本學(xué)習(xí)碳化硅襯底制造技術(shù)，在晶體材料領(lǐng)域具有深厚功底。目前已組建約40人的研發(fā)團(tuán)隊，團(tuán)隊人員具備豐富的晶體生長實踐經(jīng)驗。

目前，東尼電子碳化硅半導(dǎo)體材料項目尚處于研發(fā)打樣階段，目前公司已拿到部分下游優(yōu)質(zhì)外延片生產(chǎn)廠商的來料、成品等檢測結(jié)果，反饋良好，公司將進(jìn)行持續(xù)送樣，驗證產(chǎn)品的一致性和穩(wěn)定性，并及時溝通產(chǎn)品驗證情況，推進(jìn)后續(xù)的量產(chǎn)。

據(jù)東尼電子透露，目前公司用于研發(fā)的長晶爐所生長的晶體一致性較好，公司將根據(jù)實驗機(jī)臺調(diào)試積累的經(jīng)驗，持續(xù)工藝改進(jìn)，提高產(chǎn)品的可復(fù)制性，并按照各機(jī)臺的實際情況進(jìn)行安裝調(diào)試，周期1-2個月左右。

此外，公司碳化硅生長所需的籽晶以自制為主，自制數(shù)量不夠時會少量外購。（Arden）